标题一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2021年12月3日
申请号CN202111468462.2
公开(公告)日2024年11月5日
授权日-
法律状态/事件-
专利类型授权发明
发明人付学文 | 陈祥 | 张亚卿 | 刘芳
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号南开大学 (天津,天津,南开区)
IPC分类号H01J37/09 | H01J37/16 | H01J37/29
国民经济行业分类号C3979 | C4220 | C4210 | C3871 | C3971 | C3563 | C4028 | C3974 | C3975 | C3976
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人刘美丽
