标题一种折射率渐变特性的减反射膜的制备方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2021年11月17日
申请号CN202111359180.9
公开(公告)日2024年10月29日
授权日2024年10月29日
法律状态/事件授权
专利类型授权发明
发明人张晓丹 | 李兴亮 | 李仁杰 | 周佳凯 | 张奇星 | 任宁宇 | 陈兵兵 | 许盛之 | 侯国付 | 赵颖
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号H01L31/0216 | H01L31/18 | H01L31/0725
国民经济行业分类号C3563 | C3976
代理机构天津耀达律师事务所
代理人侯力
