标题平整飞秒激光过饱和掺杂装置、方法及探测器的制备方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年1月2日
申请号CN202510002431.X
公开(公告)日2025年4月18日
专利类型发明申请
发明人吴强 | 宋冠廷 | 周旭 | 曹家欣 | 郑子阳 | 许京军
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300000 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号H01L21/268 | H01L21/225 | H10F71/00
国民经济行业分类号C3979 | C3562
代理机构天津朗熠知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人刘欢
