标题一种多层EUV光刻胶的制备方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年2月20日
申请号CN202510188946.3
公开(公告)日2025年5月27日
专利类型发明申请
发明人董红 | 罗锋 | 单一洋
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300350 天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)
IPC分类号G03F7/09 | G03F7/11 | G03F7/20 | C23C16/455 | C23C16/40
国民经济行业分类号C3569 | C4330 | C3479 | C2665 | C2664 | C3563 | C3562 | C3474 | C3473 | C3472 | C3471 | O8131
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司
代理人李淑惠
