标题一种正性光刻胶组合物及其应用
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年6月6日
申请号CN202510748354.2
公开(公告)日2025年8月8日
专利类型发明申请
发明人张磊 | 于泽琦
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300350 天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)
IPC分类号G03F7/004 | G03F7/039 | C08G75/04
国民经济行业分类号C3569 | C4330 | C3479 | C2665 | C2664 | C3563 | C3562 | C3474 | C3473 | C3472 | C3471 | O8131
代理机构天津耀达律师事务所
代理人邵洪军
