标题一种基于蓝晒工艺的深紫外灰度掩膜版的制备方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年5月27日
申请号CN202510689817.2
公开(公告)日2025年9月30日
专利类型发明申请
发明人武莉 | 赵晓慧
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号G03F1/22 | B05D1/00 | B05D1/26
国民经济行业分类号C3569 | C4330 | C3479 | C2665 | C2664 | C3563 | C3562 | C3474 | C3473 | C3472 | C3471 | O8131
代理机构天津展誉专利代理有限公司
代理人王振波
