标题抗蚀剂、制备方法、组合物、涂胶层及图案形成的方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年3月10日
申请号CN202510276268.6
公开(公告)日2025年7月22日
专利类型发明申请
发明人李光武 | 马琳琳
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号C07D303/27 | C07D301/28 | G03F7/16 | G03F7/20 | G03F7/30 | G03F7/004
国民经济行业分类号C2614 | C2653 | C3521 | C2663 | C2684 | C2661
代理机构天津展誉专利代理有限公司
代理人王振波
