标题一种光学薄膜折射率与厚度的测量方法及系统
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年6月9日
申请号CN202510758987.1
公开(公告)日2025年8月29日
专利类型授权发明
发明人任梦昕 | 朱鹏飞 | 张迪 | 兀伟 | 许京军
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号G01N21/41 | G01N21/45 | G01N21/59 | G01N21/84 | G01B11/06
国民经济行业分类号C4021 | C4330 | C3544 | C4024 | C4014 | C3581
代理机构天津展誉专利代理有限公司
代理人刘永会
