标题一种电子束光刻胶的图案化加强方法
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年9月30日
申请号CN202511422845.4
公开(公告)日2026年1月30日
专利类型发明申请
发明人罗锋 | 许钰滔
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300350 天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)
IPC分类号G03F7/11 | H10P76/20 | G03F7/004 | G03F7/20
国民经济行业分类号C3569 | C4330 | C3479 | C2665 | C2664 | C3563 | C3562 | C3474 | C3473 | C3472 | C3471 | O8131
代理机构天津耀达律师事务所
代理人邵洪军
