标题基于炔基桥连及联苯结构的光致刻蚀剂、制备方法和应用
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2026年1月9日
申请号CN202610025707.0
公开(公告)日2026年2月6日
专利类型发明申请
发明人李光武 | 刘钊 | 马琳琳 | 季文 | 赵米英
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号C07C69/96 | C07C69/712 | C07C68/06 | C07C67/31 | G03F7/004
国民经济行业分类号C2614 | C2653 | C3521 | C2663 | C2684 | C2662 | C2661
代理机构天津展誉专利代理有限公司
代理人王振波
