标题一种基于Si衬底的无裂纹铌酸锂薄膜及其生长方法和应用
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2025年11月11日
申请号CN202511639608.3
公开(公告)日2026年2月24日
专利类型发明申请
发明人郑大怀 | 肖天麒 | 刘宏德 | 孔勇发 | 许京军
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号C30B29/30 | G02F1/00 | C30B23/02
国民经济行业分类号C2664 | C3099
代理机构-
代理人-
