标题一种高深宽比沟槽微结构的槽底形貌探测光学系统
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2026年1月13日
申请号CN202610039591.6
公开(公告)日2026年4月7日
专利类型发明申请
发明人匡登峰 | 朱名乾
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300071 天津市南开区卫津路94号 (天津,天津,南开区)
IPC分类号G01B11/24 | G01B11/00 | G01N21/01 | G01N21/95 | G01N21/88 | G01N21/39 | G01N21/21 | G02B27/09 | G02B27/28
国民经济行业分类号C4028
代理机构-
代理人-
