一种使用分子层沉积制备锡-二醇类干式光刻胶的方法

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标题一种使用分子层沉积制备锡-二醇类干式光刻胶的方法

[标]当前申请(专利权)人南开大学

申请日2025年12月12日

申请号CN202511872472.0

公开(公告)日2026年4月3日

公开(公告)号CN121781148A

专利类型发明申请

发明人罗锋 | 王兴坤 | 徐方浩

受理局中国

当前申请人(专利权)地址300350 天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)

IPC分类号C23C26/00 | G03F7/20

国民经济行业分类号C3360

代理机构天津耀达律师事务所

代理人邵洪军

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