标题一类负性光刻胶组合物及其应用
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2026年2月3日
申请号CN202610151701.8
公开(公告)日2026年5月26日
专利类型发明申请
发明人张磊 | 于泽琦
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300350天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)
IPC分类号C07F7/00 | G03F7/004 | G03F7/038
国民经济行业分类号C2614 | C3521 | C2663 | C2684 | C2661
代理机构天津耀达律师事务所
代理人邵洪军
