标题一种横向等离子体ALD的设备
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2026年1月14日
申请号CN202610045338.1
公开(公告)日2026年6月5日
专利类型发明申请
发明人董红 | 秦李南
受理局中国
当前申请人(专利权)地址300350 天津市津南区海河教育园同砚路38号 (天津,天津,津南区)
IPC分类号C23C16/455 | C23C16/52 | C23C16/54
国民经济行业分类号C3569 | C3563 | C3562 | C3099
代理机构天津耀达律师事务所
代理人邵洪军
