标题Lithium niobate semiconductor structure and manufacturing method thereof
[标]当前申请(专利权)人南开大学
申请日2020年12月28日
申请号US17/771351
公开(公告)日2023年5月25日
公开(公告)号-
授权日-
法律状态/事件实质审查
专利类型发明申请
发明人ZHANG, GUOQUAN | QIAN, YUEZHAO | ZHANG, YUCHEN | XU, JINGJUN
受理局美国
当前申请人(专利权)地址Tianjin, CN
IPC分类号H10N30/853 | H10N30/01 | H10N50/10 | H10N50/01
国民经济行业分类号-
代理机构MUNCK WILSON MANDALA L.L.P
代理人-
专利价值$ 320,000
